现在，随着半导体电子技术的发展，集成度越来越高的集成电路也对清洁度要求越来越高。这为辽宁FFU在大规模规划中的应用带来了机遇，FFU系统本身具有独特的优势，主要包括以下几点:

1.灵活性。因为FFU是自供电的，不受地域限制。在这样一个大的洁净车间，可以根据需要进行分区控制。而且，随着半导体生产工艺的变化，工厂的布局也必须相应地调整。FFU的灵活性使得这种调整更加容易，不会带来二次投资。

2.可重用性。从理论上讲，FFU设备在一段时间内没有使用，可以拆卸、密封并妥善保存，以备下次使用。

3.负压通风。这是FFU的一个独特特性。由于能提供静压，送风的静压箱相对于洁净车间的负压是相对的。这样，静压箱内的颗粒在压力作用下不会泄漏到洁净区，使密封非常简单安全。

4.缩短工期。FFU的使用节省了风管的生产和安装，因为风管在清洗工程中占用了较大的施工周期。任何投资者都希望投资能够尽快带来收益，所以选择FFU是有可能的。

5.减少运营成本。FFU虽然初期投资高于风道通风，但在后期运行中具有节能、免维护的特点。

6.节省空间。与RCU HEPA系统相比，FFU DCC系统具有更高的可靠性

在静压室中占用较少的楼层高度，基本上不占用洁净室空间。RCU无论是挂在天花板上还是安装在洁净室里，都占用了很多空间。